MEMS慣性傳感器?都有哪些種類？MEMS慣性傳感器有哪些特點

MEMS慣性傳感器都有哪些種類？MEMS慣性傳感器有哪些特點，下面定陽新能源小編為你講解一下：

MEMS慣性傳感器包括MEMS陀螺儀及MEMS加速度計，其分類有多種方式，根據精度由低到高其可分為消費級（零偏>100°/h）和戰術級（零偏0.1°/h ~ 10°/h）。

根據感知角速度的方式，MEMS陀螺儀可以分為振動臂式、振動盤式和環形諧振式。振動臂式MEMS陀螺儀通過測量扭轉振動幅度以及扭轉振動相位來獲取角速度，典型代表為ENV-05A系列音叉式陀螺。振動盤式MEMS陀螺通過測量元件與底部之間電容量的變化來獲取角速度，典型代表為霍尼韋爾公司的HG1940慣性測量單元。環形諧振MEMS陀螺儀通過測量磁場變化來獲取角速度，典型代表是SiIMU02陀螺儀。

無人機、無人車、無人船、機器人等代表性無人系統的智能自主控制是當前自動控制領域的研究熱點，更是提升無人系統自主性和智能化水平的核心技術。自主導航技術利用對應的自主導航系統獲取無人系統自身的位置、速度及姿態信息，是實現無人系統智能自主控制必不可少的技術保障。在無線電導航、地形匹配導航、慣性導航、衛星導航、磁導航及視覺導航等眾多導航技術中，不需要依賴外界信息的慣性導航技術是目前實現無人系統自主導航的一種最強有力技術手段。基于微機電系統（micro-electro-mechanical system, MEMS）慣性傳感器的MEMS慣性導航技術是慣性導航技術的一個重要分支，其系統具有成本低、體積小、功耗低以及抗沖擊強等優點。因此，針對MEMS慣性傳感器及其導航技術的研究對無人系統自主導航技術的快速發展和滿足其日益提升的應用需求有重要的支撐意義。

根據感知加速度的方式，MEMS加速度計可分為位移式、諧振式和靜電懸浮式。位移式MEMS加速度計通過檢測電容變化來測量加速度大小，典型代表為Northrop Grumman公司的SiACTM。諧振式MEMS加速度計通過測量諧振頻率的變化來測量加速度大小，精度很高，典型代表是霍尼韋爾公司的SiMMA。靜電懸浮式MEMS加速度計通過測量電容來獲取懸浮狀態下的圓盤或圓球位置從而測量加速度大小，理論精度高，典型代表是法國ONERA公司的SuperSTAR加速度計。

根據傳感原理，MEMS加速度計可分為壓阻式、壓電式和電容式3類。壓阻式加速度計通過將相應懸臂梁上的電阻轉化成電壓輸出，即可將加速度信息轉變為電信號輸出，具有體積小、加工工藝簡單、精度高、響應速度快、抗電磁干擾強等優點。壓電式MEMS加速度計通過測量內部壓敏阻值變化與被測加速度的關系，從而推算出外界加速度，具有測量范圍大、重量小、體積小、抗干擾能力強、結構簡單和測量精度高的優點。電容式MEMS加速度計通過檢測電容值的變化量，從而推算出外界加速度，具有測量精度高、靈敏度高、穩定性好、功耗低等優點。